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电子和半导体制造

MarMotion Elektronik
应用 | 电子和半导体制造

精确定位 得益于久经考验的旋转冲程轴承

与其他任何工业领域相比,半导体生产的技术进步非常迅速,可以在更短的时间内生产出更精细的结构。人们对工件质量的要求越来越高,同时要求缩短循环时间。

MarMotion | 久经考验

生产力 - 稳定而可靠

 旋转冲程轴承是许多应用的理想解决方案。旋转冲程轴承以独特的方式将精度和刚性与紧凑的尺寸相结合。滚珠隔离圈中的大量滚珠在各个方向上提供了很高的 刚性。精确设置的预紧力可确保零间隙和可靠的刚性,非常适合短循环时间内的快速运动。

精加工表面、最优质的材料和精心硬化的钢材使摩擦力降到最低,以确保长使用寿命、高可靠性和低维护。由于维护或修理造成的停机时间可显著减少,这在半导体制造领域尤为关键。

可根据要求提供能够在真空或洁净室中使用的材料。

MarMotion Elektronik
MarMotion | 您的优势

技术特点用于 创新的机器设计

  • 高负载能力 和刚性: 可缩短循环时间,实现精确运动。
  • 可进行线性和旋转运动: 组合运动可简化设计。
  • 紧凑型设计,迷你规格: 安装空间小,支持小型化。
  • 适用于干运行的特殊材料: 可在 UHV 和洁净室环境中使用。
  • 持久,维护少: 适用于 24/7 运行,机器停机时间最少。
MarMotion | 个性化

定制解决方案

所有组件都可根据不同于目录标准的尺寸进行生产。可应要求提供替代材料。也可根据您的工件图纸进行定制设计。

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